在高真空下，電子束鍍膜機放出熱電子，被加速陽極加速，獲得巨大的動能轟擊在蒸發(fā)材料上，動能轉化為熱量加熱蒸發(fā)材料，實現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜。電子束鍍膜機由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速電極和作為陽極的涂層材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可以高度集中，使得涂層材料局部達到高溫并蒸發(fā)。通過調節(jié)電子束的功率，可以方便地控制涂層材料的蒸發(fā)速率，特別是對于高熔點、高純度的金屬和化合物材料。

電子束鍍膜機涂層的特性

　　電子束鍍膜機是工業(yè)上常用的薄膜制造設備。由于蒸發(fā)涂布機的特點，它在薄膜生產(chǎn)中起著重要的作用，薄膜主要是通過涂布機中電子束的加熱來生產(chǎn)的。

　　1、電子束鍍膜機的優(yōu)點

　　(1)將涂布機中的電子束加熱方法與傳統(tǒng)的電阻加熱方法進行了比較。電子束加熱會產(chǎn)生較高的通量密度，有利于高熔點材料的蒸發(fā)，也能在一定程度上提高蒸發(fā)速率。

　　(2)電子束鍍膜機工作時，將待蒸發(fā)的原料放入水冷銅坩堝中，可以防止材料被污染，制造出高純度的薄膜。

　　電子束蒸發(fā)的粒子動能比較大，有利于薄膜的精度和結合力。

　　2、電子束鍍膜機的缺點

　　電子束蒸發(fā)鍍膜機整體結構比較復雜，相對于其他鍍膜設備價格比較高。

　　鍍膜機工作時，如果蒸發(fā)源附近的蒸汽密度比較高，電子束電流與蒸汽粒子會有一定的相互作用，影響電子通量，使電子通量失去或偏離軌道。同時，你也可能引發(fā)蒸汽和殘余氣體的激發(fā)和電離，影響整個膠片的質量。