電子槍是電子束鍍膜機設備的核心部件，其作用是加熱薄膜材料和被加工零件。電子槍主要由支架、燈絲、聚焦系統(tǒng)和偏轉線圈四部分組成。電子槍的燈絲是陰極，機械加工部分是陽極。陽極接地。

電子束鍍膜機工作時，需要先預熱燈絲。燈絲預熱電流60-90A，預熱時間20分鐘以上。燈絲加熱后，燈絲(陰極)中電子的勢能增加，為發(fā)射電子做好準備。這時，當20KV]JI~ (2)的電壓接通時，燈絲(陰極)在電場的作用下開始發(fā)射電子。在聚焦系統(tǒng)、偏轉線圈和加速電壓的共同作用下，燈絲(陰極)發(fā)射的電子聚集成束，以極高的速度向待加工的膜材料或零件發(fā)射。

　　薄膜和加工零件的表面溫度與電子束強度成正比。電子束的強度可以通過控制燈絲的電流來控制，從而控制薄膜材料和加工零件的表面溫度。

　　電子束鍍膜機的離子清洗裝置

　　電子束鍍膜機設備采用考夫曼離子源，電場和電壓為1.5KV，燈絲為陰極，機械部分為陽極，陽極接地。工作原理是將氬氣注入電離室，氣體氬原子通過電弧放電電離成等離子體。在相對于等離子體具有正電勢的電極的作用下，負離子束從等離子體中被引出。在電場的作用下，能量為0.5-5 kev的氬負離子從陰極向陽極運動，高速轟擊加工零件表面。氬氣離子的直徑只有十分之幾納米。被加工件表面受到離子束轟擊后，由于氬離子的動能使被加工件表面原子間的結合力變干，被沖擊的被加工件表面的原子被濺射出來。達到去除加工件表面污染物的目的，即對加工件進行離子清洗。

　　薄膜材料的進給機構和被加工零件的進給旋轉結構也是電子束鍍膜機設備不可缺少的部件，因為這兩個機構的工作原理和主要部件與數(shù)控機床甚至一般機床基本相同。